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KOHZU

Stage

수동 X,XY 스테이지

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수동 Z 스테이지

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수동 회전 스테이지

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수동 스위벨(고니오) 스테이지

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자동 X,XY 스테이지

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자동 Z 스테이지

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자동 회전 스테이지

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자동 스위벨(고니오) 스테이지

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박형 얼라이먼트 스테이지

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진공 대응 스테이지

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MPS 시리즈

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SMR 시리즈

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컨트롤러

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모터 드라이버

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